超高真空擋板閥
超高真空三通型擋板閥 CD-S40
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CD系列擋板閥用于超高真空或要求烘烤的工況條件下，適用介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。軸封為波紋管密封，法蘭密封為無(wú)氧銅金屬墊密封，適用于450oC高溫。有角通型（CD-J）和帶預(yù)抽口的三通型（CD-S），驅(qū)動(dòng)方式有手動(dòng)，電磁氣動(dòng)，電動(dòng)。
適用范圍 | 105~1.3×10-7Pa |
閥門(mén)漏率 | ≤1.3×10-8Pa.L/S. |
介質(zhì)溫度 | ≤450oC |
安裝狀態(tài) | 任意 |
閥體、閥桿、閥蓋 | 不銹鋼 |
密封件 | 無(wú)氧銅、波紋管(軸封) |
